气浮精密运动平台直线电机RBDLA系列精度实测报告附

气浮精密运动平台直线电机RBDLA系列精度实测报告附件

Y 轴有效行程 300mm 时直线度：±1um

X 轴有效行程 300mm 时直线度：±1.1um

X 轴微动步距：30nm；Y 轴微动步距：10nm

X 轴有效行程 300mm 时直线度：±1.1um

X 轴微动步距：30nm；Y 轴微动步距：10nm

Y 轴有效行程 300mm 时 Pitch：±5.9 arc-sec

Y 轴有效行程 300mm 时 Yaw：±5.25 arc-sec

X 轴有效行程 300mm 时 Pitch：±5.35 arc-sec

X 轴有效行程 300mm 时 Yaw：±4.2arc-sec

Y 轴加速度：1.43g；蕞大加速度可达 4g. X 轴加速度：1.46g；蕞大加速度可达 4g.

深圳市煜熙科技有限公司是在China大力发展高端制造，。团队具有多年核心部件研发经验，拥有多种高端应用领域经验，成熟得产品应用案例。经过多年精密运动平台得技术积累和沉淀，已形成了一整套完备得精密运动平台系统得研发和生产体系。特别在气浮理论计算、实验仿真分析、结构优化设计、精密集成组装和测试等方面具备雄厚得实力。

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